碳方程TFC-10800D化学气相沉积（MPCVD）设备_报价-碳方程半导体设备制造（山西）有限公号�/title>

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TFC-10800D，微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）设备是***� CVD系统。针对用户的具体要求设计和研制的一台多用途、高稳定中等压强微波等离子体（MPCVD）综合设备、�/span>

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