主要特点

电感加热式物理气相传输SiC生长炈�/p>

双壁水冷石英箠�/p>

2英寸�?00mm�?50mm晶圆工艺

高温计控制和电源控制，保证生长炉稳定运行

自动PLC控制、带工艺、触屏、安全互�?警报等功胼�/p>

远程监测和控刵�/p>

占地空间*小的SiC生长炈�/p>