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产品简介:
Atom Max晶圆级原子力显微镜利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘体等固体材料进行亚纳米级三维扫描成像,可实现晶圆级大样品形貌表征。电动样品定位台与光学图像相结合,可?00×200 mm区域实现1 µm的定位精度,光学结构与扫描头集成一体,自动化程度高,操作便捷、/p>
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