产品优势９�/strong>

�?）独特的双轴支撑结构，降低了磨削单元间的振动和变形的相互干扰，有效提升设备的稳定性和加工质量的一致�?/p>

�?）多参数传感器测量系统，实时采集传输并分析处理设备运转参数，增强设备故障预测性维抣�/p>

�?）全流程自动化加工系统，实现多装置的高度集成，多功能兼容，降低人工干预，提升加工效率与安全�?/p>

产品特点９�/strong>

�?）结构紧凑，轻量化设讠�/p>

�?）优异的结构刚�?/p>

�?）灵活配置，广泛应用�?/p>

�?）软件定制化，人性化操作界面

�?）持久耐用，安全无�?/p>

项目	技术参�?/span>
型号	CMG200
加工材料	SiC, Si, GaN等硬脆材�?nbsp;
加工晶圆尺寸	4/6/8英寸
砂轮直径	313mm
可加�?*厚度	60mm
磨削主轴转逞�/span>	6000rpm
磨削主轴功率	13KW
片内厚度偏差TTV	1.5μm
表面粗糙度Ra	3nm
自动装夹装置	可选配