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内外腔型百克级粉体分子层沉积系统

技术参 9/span>
1样品**装载量:100g(可根据需求定?, 也可放置3D基体及多片平牆/span>
2样品反应温度:RT-300ºC
3前驱体:**可包?组反应气?组液态或固态反应前驱体,
内外腔型百克级粉体分子层沉积系统的工作原理介绍?
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厦门韫茂科技有限公司企业类型
信用代码
91350200MA31JEYQ4Y法人代表
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