典型加工零件

碳化硄�/p>

蓝宝矲�/p>

陶瓷

主要特点

1、磨轮采�?2寸国家标准金刚石专用砂轮，磨轮的粒度的选型是根据客户对工艺的要求定刵�减薄单元采用轴向进给(In-Feed)磨削原理，兼容中300~50mm晶圆研削减薄加工、�/p>

2、设备具有多段磨削程序、超负载等待等功能，满足各类工艺需求、�/p>

3、磨轮主轴采用高精密气浮专用电主轴，通过变频器受数控系统控制进行调速，可以根据不同产品决定工艺转速、�/p>

4、为了实现高精度、高品质的加工，搭载了高刚性、低振动、低热膨胀的气浮主轴。工作台的主轴亦同样搭载高刚性、低振动、低热膨胀的空气轴承部件、�/p>

5、采用高精密丝杆及导轨组件，驱动方式是伺服全闭环控制系统驱动、�/p>

主要技术参�?/span>

项目		YHMG7430
加工工件	加工工件尺寸范围（mm（�/td>	Φ50~Φ300
	加工工件厚度范围（mm（�/td>	0.15~50
轴参�?/td>	Z轴有效行程（mm（�/td>	100（具有原点机能）
	Z�?小运动分辨率� mm（�/td>	0.0001
	Z轴快进速度(mm/s)	10
	Z轴磨削进给速率� μm/s（�/td>	0.1�?0
磨头参数	磨头转速（Rpm（�/td>	50~2000无级调逞�/td>
	砂轮直径（mm（�/td>	φ313�?2寸）
	砂轮主轴功率	11Kw
整机	主机总功率（Kw（�/td>	25Kw
	主机重量(Kg)	3500
	主机尺寸(mm)	1850×1500×2200