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浙江晶泰半导体有限公号/b>
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厂务要求Utilities
电源电压（Source Voltage）：380 V±10%
频率（Frequency）：50/60 Hz
加热功率(Heating Power）：165 KW底部加热50 kW
环境温度（Ambient Temperature）：5?0
相对湿度（Relative Humidity）：?0%
入口?*水温(Maximum Inlet Temperature)?7°F (25 ?
*小流量（Minimum Flow Rate）：50 gpm (185 L/min) total
入口出口压力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi ?.1 kg/cm²（/span>
主氩气流量（Mass Flow Control(Max.)）：200 slpm
吹扫流量(Purge Flow)?00 slpm
合计（Facility Total）：300 slpm
推荐压力Recommended Supply Pressure?5 psi(5.3 kg/cm²（/span>
压缩空气（Air（/span>
推荐压力Recommended Supply Pressure?0 psi(6.3 kg/cm²)
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