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技术参数：
出口碳氢化合?0.1ppm
出口氮氧化合?0.1ppm
出口一氧化碲1ppm
出口二氧化碳<5ppm
0.5um以上颗粒 除率 99.99%
流量?.5L/min---30L/min
主要特点９/strong>
型号全，多种出气量选择，去除颗粒度高，出气量稳定。噪音低
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