无纺布抛光垫
型号	密度g/cm3	压缩�?	压缩弹性率%	硬度邵氏A	性能特点	应用
NW-70	0.36	4-5	90	72A	耐磨不拉丝，寿命镾�/span>	金属、不锈钢精抛
NW-75	0.37	4-5	80	76A	软性材质，贴合性好	蓝宝石衬底搭配氧化硅
NW-80	0.37	3-4	80	80A	搭配氧化硅，表面质量髗�/span>	硅片、砷化镓衬底
NW-90	0.45	2-3	70	90A	搭配氧化铝，抛光速率髗�/span>	蓝宝石、碳化硅衬底

无纺布抛光垫是一款毛毡状的抛光垫，能磨出一定程度的平坦性和平滑性，性能处于聚氨酯抛光垫

和阻尼布抛光垫的中间位置、�/span>

通常被使用于粗磨或中磨、�/span>

应用领域９�/span>

半导体晶圆，蓝宝石，光学镜片，金属等材料CMP、�/span>

定制服务９�/span>

硬度、尺寸、沟槽等可按需求定制、�/span>