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合肥知常光电科技有限公司
证：工商信息已核宝br /> 访问量：7855
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产品简今/div>
| 玻璃晶圆缺陷检测设夆/td> | |
| 型号 | NOVA-2000-G |
| 晶圆类型 | 玻璃晶圆衬底、图形晶圅/td> |
| 晶圆尺寸 | 4寸?寸?寸?2?可兼容相邻尺? |
| 检测方弎/td> | 明场、暗场、微分干消/td> |
| 分辨玆/td> | 10μm -0.5μm |
| 镜头 | 1X,2X5X,10X,20X,50X |
| 检测缺陷类垊/td> | 划痕，麻点，颗粒物，污染，崩边等 |
| 产率 | ?2WPH(@8英寸晶圆，分辨率1μm) |
| ?WPH(@12英寸晶圆，分辨率1μm) | |
| 自动匕/td> | 2 LoadPort |
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