ATI-1000S型高�?strong>半导体材料体积电阻率测定�?/strong>/半导体电阻率测量�?/strong>主要用于半导体材料导电性能的评估和测试，该系统采用四线电阻法测量原理进行设计开发，可以在高温、真空气氛的条件下测量半导体材料电阻和电阻率，可以分析被测样品电阻和电阻率随温度、时间变化的曲线、�strong>半导体材料体积电阻率测定�?/strong>/半导体电阻率测量�?/strong>目前主要针对圆片、方块、长条等测试样品进行测试，可以广泛用于半导体材料硅（si）、锗（ge），化合物半导体材料砷化�?GaAs)、锑化铟（InSb），三元化合物半导体GaAsAl、GaAsP，固溶体半导体，如Ge-Si、GaAs-GaP等的块体材料的电阻率测量等材料的电阻率测量、�/p>

技术参数：

温度范围：RT-1000ℂ�/p>

升温斜率�?-10�?min (典型值：3�?min)

控温精度�?#177;0.5ℂ�/p>

电阻测量范围�?.1m��~1M��

电阻率测量范围：100n��..cm~100K�� .cm

测量环境：惰性气氛、还原气氛、真空气氚�/p>

测量方法：四线电阻法

测试通道：单通道

样品尺寸�?0mmx10mmX20mm�?#966;�?0mm ，d�?mm

电极材料：上电极半圆型铂金电极，下电极平板型铂金电极

绝缘材料�?9氧化铝陶瓶�/p>

数据存储格式：TXT文本格式

数据传输：USB

符合标准：ASTM

供电�?20V��10%�?0Hz

工作温度�?� � + 40 ℃；

存储温度：�?0 � � +65 ℂ�/p>

工作湿度�?40 � 时，相对湿度**� 95%（无冷凝（�/p>

设备尺寸�?00x450x580mm

重量�?8kg

产品特点９�/strong>

� 高温炉膛、测量夹具、测量软件等集成于一体，让操作变得更加简单，测量精度则会更高：�/p>

� 触摸屏控制和显示，同时支持外接键盘和鼠标操作，满足多样化需求；

� ATI电阻率测量软件兼容世界主流仪表Keithley 2400，扩展应用更加方便；

� 可以实现常温、高温、真空、气氛条件下测量半导体材料的电学性能：�/p>

� 专业的测量软件，可以测量半导体材料的方块电阻和电阻率：�/p>

� 进口纤维一体开模铸造的高温炉膛�?*耐温1100℃；

� 内胆采用进口金属材料，耐高温、抗氧化，可实现常温、高温、真空、流动气氛等多种试验环境下的电学测量：�/p>

� 为了减小高温下导线受电炉丝的交流信号干扰而建立了金属屏蔽罩，有效减小外部信号的干扰和增加测试频率带宽：�/p>

� 采用九点控温法，以传感器为中心点，其半径20mm的圆环上均匀铺设八个温度采集点，九个温度点范围内采集到的温度**温差�?℃，此范围为样品测试�?*温区：�/p>

� 弹簧夹具设计，弹簧的可压缩性既不损伤样品又能实现样品的良好接触：�/p>

� 上电极半球状+下电极平板状结构设计，可以精确定位测量被测样品某一点；

� 控温和测温采用同一个传感器，保证样品每次采集的温度都是样品实际温度：�/p>

� 采用九点控温法，九个温度点范围内采集到的温度**温差�?℃，此范围为样品测试�?*温区：�/p>

� 电极支撑和屏蔽采用进口合金材质，利用叶片设计可以很好解决因平台带来的热弛豫影响；

� 可以测量半导体材料的方块电阻、电阻率，实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能；

� 操作简单，功能强大的测量软件，可以通过输入样品的面积和厚度，软件自动计算样品的电阻�?#961;v：�/p>

� 智能化控制，可自动调节施加在样品的测试电压，以防样品击穿：�/p>

� 采用**的RAM嵌入式开发平台，可以进行在线升级、远程协助及故障诊断：�/p>

� 测量软件终身免费设计：�/p>