从尺寸极小的MEMS传感器到大尺寸晶圆，甚至整个平板显示器，检测期间不会对样品造成破坏。Axio Imager Vario支持�?*样品高度�?54 mm�?*横向样品空间�?00 mm，大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置、�br style="box-sizing: inherit;"/>

洁净宣�/span>
半导体生产和晶圆检测需要在洁净室内进行。根据DIN EN ISO 14644-1标准，以每立方米的颗粒数量和大小将洁净室划分成不同等级。Axio Imager Vario已通过此标准认证，并满�?级洁净室的应用要求。ISO 5级洁净室相当于原先标准FED STD 209E�?992）的100级。洁净室套件中包含一�?x物镜转盘、一个颗粒保护罩和防喷嚏保护罩、�/p>