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 Primo D-RIE刻蚀设备 Primo AD-RIE®第二代电介质刻蚀设备 Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备 Primo iDEA®双反应台刻蚀除胶一体机 Primo HD-RIE®新一代电介质刻蚀设备 Primo TSV® 高性能、高产能的深硅刻蚀设备 Primo nanova®12英寸刻蚀设备 Primo Twin-Star® 12 英寸刻蚀设备 PRISMO D-BLUE®MOCVD设备 PRISMO A7® MOCVD设备

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Plasma Scrubber等离子式废气处理设备

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 Preforma Uniflex� CW薄膜设备

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 PRISMO UniMax® MOCVD设备

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 PRISMO HiT3® MOCVD设备

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 PRISMO A7® MOCVD设备

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 PRISMO D-BLUE®MOCVD设备

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 Primo Twin-Star® 12 英寸刻蚀设备

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 Primo nanova®12英寸刻蚀设备

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 Primo TSV® 高性能、高产能的深硅刻蚀设备

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 Primo HD-RIE®新一代电介质刻蚀设备

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 Primo iDEA®双反应台刻蚀除胶一体机

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 Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备

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 Primo AD-RIE®第二代电介质刻蚀设备

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 Primo D-RIE刻蚀设备

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