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碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)作为关键材料也开始广为人知,但大多数人并不知道的是,最常见并广泛用于耐火、超硬磨料、先进陶瓷等行业的其实是α相碳化硅,而它与真正用于半导体的低温稳定β相碳化硅相去甚远。?SiC,属立方晶系(金刚石晶?,也就是立方碳化硅。它除了在第三代半导体产业中用于制备碳化硅晶