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大连科立恩气体净化科技有限公司
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产品分类
产品简今/div>
系列 Series |
杂质 Impurity |
入口 Inlet（ppm（/span> |
出口 Outlet（ppb（/span> |
HON-N-S/W/VVV |
O2 |
? |
? |
H2 |
? |
? |
|
CO |
? |
? |
|
CO2 |
? |
? |
|
THC |
-- |
-- |
|
H2O |
? |
? |
|
PARTICLES |
-- |
?0pcs/m3, 0.003μm |
|
Pressure Drop |
?bar |
||
Flow |
10?0000Nm3/h |
||
工艺介绍９/p>
物理吸附脱除CO2、H2O 、H2，化学吸附脱除O2、CO杂质、/p>
吸附反应器吸附饱和后可通氢加热再生，反复使用、/p>
多柱交替吸附、再生，可连续供气、/p>
应用领域９/p>
集成电路制造行丙/p>
半导体、LED、激光、太阳能光伏行业
光纤行业
化工行业
高纯气体分析
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