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大连科立恩气体净化科技有限公司
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产品分类
产品简今/div>
系列 Series |
杂质 Impurity |
入口 Inlet（ppm（/span> |
出口 Outlet（ppb（/span> |
HON-CO2-S/W/VVV |
O2 |
? |
? |
H2 |
? |
? |
|
CO |
? |
? |
|
CH4 |
?.5 |
-- |
|
H2O |
? |
? |
|
挥发性酸VA |
-- |
?.005 |
|
挥发性碱VB |
-- |
?.5 |
|
耐熔化合物RC |
-- |
?.005 |
|
可冷凝有机物Corg |
-- |
?.15 |
|
不凝有机物Ncorg |
-- |
? |
|
Flow |
10?000Nm3/h |
||
工艺介绍９/strong>
?）使用特殊纯化材料，通过物理和化学吸附方式脱除O2、CO、H2O、H2、挥发性酸VA、挥发性碱VB、耐熔化合物RC、可冷凝有机物Corg、不凝有机物Ncorg等杂质、/p>
?）吸附反应器吸附饱和后可通氢加热再生，反复使用、/p>
?）多柱交替吸附、再生，可连续供气、/p>
应用领域９/strong>
纯化用于半导体应用的二氧化碳
气体行业
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