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分辨玆/td> | |
扫描透射僎sup>1) | 0.08 nm2)(加速电压为200kV? |
透射僎/strong> 点分辨率 线分辨率 |
0.19 nm (加速电压为200kV? 0.11 nm (使用成像系统球差校正器3) 加速电压为200kV? 0.10 nm |
放大倍率 | |
扫描透射僎/strong> | 200 150?00?00x |
透射僎/strong> | 50 2?00?00x |
电子?/strong> | 肖特基场发射?/td> |
加速电厊/strong> | 80 200 kV4) |
样品?/td> | |
样品?/strong> | 全对中侧插式测角?/td> |
样品尺寸 | 直径3mm |
样品倾斜觑/strong> | **25(使用双倾台) |
移动范围 | X/Y:1.0mm(马达驱动) |
球差校正?/td> | |
照明系统的球差校正器(STEM) | 标准配置 |
成像系统的球差校正器(TEM) | 选配仵/td> |
选配仵/strong> | 能谱?EDS) 电子能量损失谱仪 (EELS) CCD 相机筈/td> |
2. 测试标样Ge(112)情况下保?
3. 选配仵/p>
4. 标准电压: 120 kV 200 kV
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