设备简今�/strong>

应用领域

适用于：三维异构集成及先进封装、新型显示�?G/6G高频射频模块、MEMS等领埞�/p>

设备特点

�?nbsp; 超快激光脉冲加�?/p>

�?nbsp; 可加工通孔、盲孔、异型孔、单孔、集群阵列孔

�?nbsp; 微孔真圆度高，锥度（腰径比）可调

�?nbsp; 通孔侧壁光洁� �?50nm

�?nbsp; 行业�?*的深径比 200:1

�?nbsp; 支持DXF图形导入�?*可导�?亿孔的图档，AI算法自动规划**加工路径

�?nbsp; 10000�?秒的超快加工速度

设备参数

项目 技术参�?/p>

设备型号 G6006

平台精度 重复精度±1um ，定位精度�?um

平台运行速度 �?000mm/s

平台运行加速度 �?0000mm/s²

打孔效率 **10000�?科�/p>

孔径尺寸 2 -200um内壁光洁�

腰径� 60% - 95% 可调

平台加工尺寸 510mm* 515mm �?*可支�?30mm*920mm

加工玻璃厚度 0.2-1.5mm

**深径� 200 �?

适应产品 玻璃晶圆、玻璃基�?nbsp;

适应材质 无碱玻璃、铝硅玻璃、熔融石英、合成石英等