激光器

4固体皮秒激光＋4红外激先�/p>

激光寿呼�/p>

> 20000小时

适用硅片尺寸

182 * 182 m m ~ 230 * 2 30 m m

适用 硅片厚度

> 1 1 0 u m

�?nbsp;胼�/p>

1 82尺寸 �?000�?小时 ( 栅线数量 �?nbsp;1 80 ) ：�/p>

2 1 0尺寸 �?000�?小时 ( 栅线数量 �?nbsp;1 80 )

稼动玆�/p>

> 9 8 %

上料花篮

5X2 �?nbsp;1 �?nbsp;1

�?nbsp;晶碎�?nbsp;玆�/p>

�?. 025%

M T T R

�? h

M T B F

> 50 0 h