◆高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长、�/p>

◆多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等、�/p>

◆第三代高稳定固态功率源；上馈式圆柱型放电腔：�/p>

◆适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的产业化生产，材质表面处理、低温氧化物的生长等、�/p>

◆性能先进，安全、可靠性强、重现性好，操作简便、�/p>

◆多参数实时监测、采集与记录，PLC屏幕控制，多重联锁保护、�/p>

�?（�/td>	型号	HMPS-2060SP
�?（�/td>	电源	AC380±10% V 三相五线� 50Hz，额定输入＜18KVA
�?（�/td>	微波输出功率	0.5~6kW 连续可调
�?（�/td>	功率稳定�?/td>	1%（@稳态）
�?（�/td>	纹波	�?%
�?（�/td>	微波频率	2450MHz±50MHz
�?（�/td>	测温方式	红外300~1400ℂ�/td>
�?（�/td>	极限真空�?/td>	6×10-6torr
�?（�/td>	腔体内工作压�	7torr~250torr
�?0（�/td>	样品�?/td>	Φ60mm
�?1（�/td>	样品台轴向调节范図�/td>	0-60mm
�?2（�/td>	工作气氛	五路（可用户定制（�/td>
�?3（�/td>	微波泄漏�?nbsp;	�?mW/cm2
�?4（�/td>	工作环境	温度15-40℃，相对湿度�?0%，无腐蚀性气佒�/td>
�?5（�/td>	冷却氳�/td>	�?7L/Min