> 超洁净级的真空系统

> 全进口的集成化供气系绞�/p>

> 样品台冷却系统采用Duel-Loop控制

> 自动化的工艺生长控制系统

> 在线视觉检测功胼�/p>

�?（�/td>	型号	DM-8000
�?（�/td>	电源	AC380 V 三相五线� 50Hz＋�/td>
�?（�/td>	微波输出功率	8kW �?450MHz点频
�?（�/td>	微波泄露	�?mW/cm³@5cm
�?（�/td>	功率稳定�?/td>	1 %（@稳态）
�?（�/td>	有效沉积区域	up to Φ 70 mm
�?（�/td>	样品台直徃�/td>	Φ120mm
�?（�/td>	极限真空�?/td>	�? ×1 0-1 P a
�?（�/td>	真空漏率	�?x10-9Pa.m³/s
�?0（�/td>	单晶生长	生长速度10-15μm/H，单轮生长厚度≥1.6mm
�?1（�/td>	单晶质量	色度H，肉眼无瑕疵
�?2（�/td>	气体种类	标配四路MFC：H2:1000sccm，CH4:100sccm，O2:10sccm，N2:5sccm；可扩展�?�?/td>
�?3（�/td>	压强控制范围	5-225 torr
�?4（�/td>	压强控制精度	±0 . 1 T o r r
�?5（�/td>	冷却氳�/td>	�?5L/Min