误差率：
*分辨率：
*重现性：
*仪器原理９/p>其他
分散方式９/p>*
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PHI ADEPT 1010
简今/span>
动态二次离子质谱仪（D-SIMS）是使用一次离子束（通常是Cs源）轰击样品表面，而产生二次离子，然后用质谱分析仪分析二次离子的质荷比（m/q），从而得知元素在样品中的深度分布，是分析半导体掺杂和离子注入的强有力的工具、/span>
优势
ULVAC-PHI **设计的四极杆-二次离子质谱仪ADPT1010，在原有的PHI6300和PHI6600的基础上，改善了离子光学系统，是在一次离子能量低?50eV时，仍保持有效的溅射束流的动态二次离子质谱系统（D-SIMS）、/span>
特点
大束流低能量离子枪设计，极大的提高了深度分辨玆/p>
高性能离子光学系统，改善了二次离子传输效率，在提高分析效率的同时又提高了检测灵敏度
高精度全自动5轴样品操控台
不同方向进入检测器的二次离子，均可被高灵敏地收集检浊/p>
应用实例分析
采用一次离子源Cs在加?kV束流?00nA的条件下，分析GaAs中注入的H，C，O元素。可以看到H检测限?.1X1016atm/cm3＋/span>O检测限?.4X1015atm/cm3，C检测限?.0X1015atm/cm3、/span>
暂无数据
动态二次离子质谱仪的工作原理介绍？动态二次离子质谱仪的使用方法？动态二次离子质谱仪多少钱一台？动态二次离子质谱仪使用的注意事顸/li>动态二次离子质谱仪的说明书有吗＞/li>动态二次离子质谱仪的操作规程有吗？动态二次离子质谱仪的报价含票含运费吗？动态二次离子质谱仪有现货吗＞/li>动态二次离子质谱仪包安装吗＞/li>
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工商已核宝/p>
