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SNE-3000MS型台式扫描电镜是韩国SEC公司研制的基本型Mini-SEM,非常适合于主要用SEM?万倍放大倍率下进行表面观察的用户。其分辨率为15nm?*放大倍数?万倍;可通过U.I界面中鼠标控制简单、方便地操作3轴载台移动;能使用多种扫描模式与测试工具获得多种分析结果、/span>
技术参数:
电子光学系统 | 分辨玆/span> | 15nm'/span>30kV 二次电子成像(/span> |
放大倍率 | 20x~60?00x | |
加速电厊/span> | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
探测?/span> | 二次电子探测器(SE(/span> | |
电子?/span> | 预对中钨灯丝 | |
载台系统 | 载台运动 | 3轴系绞/span> (X Y R) X Y-轳/span>: 40mm / R-轳/span>: 360 * 影像偏移 : 150m * Tilt-轳/span> : 0~45(选配(/span> |
**样品尺寸 | 70mm?#934;(/span>*30mm'/span>H(/span> | |
成像系统 | 自动功能 | 自动启动,自动聚焦,自动消像散,自动调节对比度与亮度 |
图像格式 | BMP JPEG PNG TIFF | |
真空系统 | 真空模式 | 高真穹/span> |
真空泴/span> | 旋转式机械泵/涡轮式分子泵(全自动(/span> | |
尺寸与重野/span> | 主机 | 390(W)x380(D)x560(H)mm 83kg |
控制单元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm 37kg | |
旋转泴/span> | 400(W)x160(D)x340(H)mm 24kg |
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