看了Hiden HPR30过程气体分析质谱仪的用户又看亅/p>
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技术参数:
HPR-30真空过程气体分析系统(Process Gas Analyser),适用于监测分析残余气体和真空工艺过程中的气体组成及变化、/p>
应用9/p>
CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
真空涂覆/ 等离子刻蚀
沉积溅射
污染物研穵/p>
基本压力辨别
泄漏探测/ 实质泄漏/脱附分析
除气/烘烤/泵效胼/p>
反应?过程气体污染?/p>
特点9/p>
简洁的桌上型,移动推车或控制台架结枃/p>
Direct re-entrant流孔板,差式泵,以达?适宜的灵敏度
连续取样?0-4mbar?mbar.
高灵敏度?*可至5ppb),质量数可选至1000amu
软离子化技术,分析复杂有机物,或表观MS研究
稳定性好(24h之上,峰高变化小?#177;0.5%)
MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制
气动阀自动控制;出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置
自动、同时数据取得、分析,实时显示、报?/p>
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