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英国Oxford等离子去胶机(灰化)Plasma Stripper (Asher)
应用:从蚀刻晶圆片上移除光刻胶
流程配置:RIE/ICP
工作原理
。使用等离子体源，生成单原子反应种、/span>
。氧?常见的反应物质。反应性物质与光阻结合形成灰，
。用真空泵将其除去、/span>
。ICP结构避免了高能离子轰击和电容耦合＋/span>
。提供低衬底损伤、/span>
可用气体:O2 N2O
主要性能:
。开放式设计，可快速加载和卸载晶圆、/span>
。基片放置在石英上，以避免溅?再沉积电极材斘/span>
。通过顶部电极上的“莲蓬头”进气口将气体注入工艺室
。电感耦合等离子体(ICP)和电极的独立射频发生器提供对离子能量和离子密度的独立控制
。高电导泵浦端口提供高的气体吞吐量，?快的腐蚀速率
。使用等离子体源，生成单原子反应种。氧?常见的反应物质、/span>
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移动?/p>
工商已核宝/p>
