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OTF-1200X-5S是一欽/span>CE认证的小型开启式管式炉,?*工作温度可以达到1000℃。炉?#934;130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设?span>30段升降温程序,控温精度为+/- 1℃。此款管式炉*多可寸span>4英寸的晶片进行退火、/p>
产品型号 | OTF-1200X-5S小型开启式管式炈/strong> |
主要特点 | 炉体结构 双层壳体结构 表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率,保证温度均匀性,炉膛采用高纯氧化铝纤维作材料,此款管式炉也可做为立式炉使用(点击图片查看详细资料(/span> |
技术参?/span> | 1.功率9/span>3KW 2.电压9/span>220VAC 50/60Hz 3.**工作温度9/span>1000℃(;span>1小时),连续工作温度9span>900ℂ/p> 4.**加热速率9/span>20ℂspan>/min 5.加热匹/span> 加热区长度:300mm 恒温区长度: 100 mm (+/-1oC ) 140 mm (+/-2oC ) 6.温控系统 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序 带有超温和断偶保抣/span> 可选购MTS02-B控温模块,可用电脑设置和显示温度程序 7.欧陆仪表(可选) 可选购欧陆3504温控仪表,可不span>LABVIEW软件比配 8.控温精度9/span>+/- 1C: 9.炉管:石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL 配有2个氧化铝管堵,使用设备时应放在炉管两端,保证恒温区和法兰密封?/p> 可选购石英管堵,提高炉管内的洁净度和帮助获得高真穹/span> 9.真空密封法兰 配有一对不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封 右端法兰丹span>KF25接口,用于连接真空泵 左端法兰上安装有机械压力表,接口丹span>1/4英寸卡套接头,用于连接气瓵/p> 真空度:10-2torr (采用机械泴span>) 可选:5英寸的水冷铰链法兰,并带有支撑架 水冷法兰通入冷却水后,设?*温度可以达到1100℃(;span>1小时 10.真空压力?/span> 安装有一机械压力表,测量范围丹span>-0.1}span>0.15MPa 可选购数显防腐真空计当气压?span>10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换,测量范围丹span>3.8x10-5 -1125 Torr 11.铠装热电偶(可选) 可选购铠装K型热电偶,通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部,测量样品的实际温?/p> 可选购一个法兰支撑架,防止炉管转?/span> 12.尺寸: 炉盖打开关闭旵span>: 430mm(L) 480mm(W) 480mm(H) 炉盖打开 : 660mm(L) 480mm(W) 720mm(H) 13.净里/span>:48 Kg |
质保 | 一年保修,终身维护 |
质量认证 | CE认证 所有电器元件(>24V)都通过UL?/?MET?/?CSA认证 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证戕span>CAS认证 |
应用注意事项 | 炉管内气压不可高亍span>0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程丹span>0.01MPa-0.1MPa+/span>使用时会更加精确安全 当炉体温度高亍span>1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状?/span> 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100ℂ/span> 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大亍span>0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) |
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