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产品简介:100W小型手动匹配型射频电溏/span>RF-100-LD频率丹/span>13.56MHz,专门与本司1"的磁控溅射头配用,可搭建成一套较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膛/span>、/span>
产品型号 | 100W小型手动匹配型射频电溏/span>RF-100-LD |
技术参?/span> | 1?/span>电源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2?/span>输入功率9/span>5W-100W(可调),稳定?#177;1% 3?/span>射频频率?3.56MHz,稳定?#177;0.005% 4、匹配:手动匹配 5、冷却:风冷 6、噪音:<50dB |
产品规格 | 尺寸?90mm260mm105mm |
可选配仵/span> | 1?/span>1"高真空磁控溅射头,可自行搭建RF戕/span>DC溅射镀膜仪、/span> 2、同时购?/span>100W射频发射器和1"磁控溅射头时,本司赠?个高真空快速接头。接头内徃/span>?.75",可将溅尃/span> 头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚不得大于1"、/span> 3、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L、/span> |
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