看了PECVD沉积的用户又看了
留言询价
虚拟号将180秒后失效
使用微信扫码拨号
PECVD沉积
Minilock-Orion III是一?**的等离子增强型化学汽相沉?PECVD)系统 系统的下电极尺寸可为200mm?00mm,且根据电极配置,可以处理单个基片或带承片盘的基?3? 300mm尺寸),或者多尺寸批处理基?4x3“ 3x4“ 7x2?、/p>
Minilock-Orion III用于有毒/发火PECVD工艺。沉积薄膜:氧化物、氮氧化物、氮化物、无定形硅和碳化硅。工艺气体:100%硅烷、氨、TEOS、二乙基硅烷、氧化亚氮、氧、氮、三甲基硅烷和甲烷、/p>
该系统可选配一个三极管(Triode)或电感耦合等离?ICP)源。三极管源使得用户可以创建高密度等离子,从而控制薄膜应力、/p>
基片通过预真空室装入工艺室,其避免了与工艺室以及任意残余沉积副产品接触,从而提高了用户的安全性。预真空室还使得工艺室始终保持在真空下,从而保持反应室与大气隔绝、/p>
暂无数据
PECVD沉积的工作原理介绍?
PECVD沉积的使用方法?
PECVD沉积多少钱一台?
PECVD沉积使用的注意事顸/li>
PECVD沉积的说明书有吗>/li>
PECVD沉积的操作规程有吗?
PECVD沉积的报价含票含运费吗?
PECVD沉积有现货吗>/li>
PECVD沉积包安装吗>/li>
手机版:

