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◅/span>规格
▻/span>UTS-2000
机种 |
UTS-2000 |
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测量方式 |
FT/IR干渉膜厚测量泔/span> |
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测量配置 |
反射、透过＇/span>选配（/span> |
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样品尺寸 |
20 20｝/span>1200 1200m |
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显示?/span> |
内置CMOS相机?/span>认测量位?/span> |
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◎/span>测量范围／精?/span> |
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测量膜厚范围 |
0.25m｝/span>750m＇/span>Siの場合） |
|
测量膜厚册/span>?/span>?/span> |
0.005m以下(同一点繰返し測定時?/span>Siの場吇/span>) |
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●XY样品?/span> |
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距离 |
200mm200mm |
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驱动分辨玆/span> |
2m |
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◎/span>数据处理?/span> |
||
对应OS |
Windows 7 Professional |
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控制装置 |
JASCO光学管理器控制光学系绞/span>／控刵/span>XY样品?/span>／控制搬送机＇/span>选配（/span> |
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暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
