材料3D实时动态显微镜

lyncee+材料3D实时动态显微镜+DHM? R2100

LynceeTec数字全息显微镛�/span>DHM

Digital Holographic Microscopy (DHM) generates� in real-time� high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time.

仪器简今�/span>

瑞士Lyncee tec公司的材斘�/span>3D实时动态显微镜DHM R1000‛�/span>DHM＇�/span>Digital Holographic Microscopy）主要应用是�?/span>MEMS研发中用于测量工作，以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微镜相比，在同行分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm，水平方向为200nm｝�/span>300nm（取决于物镜）。使�?/span>1.25倍率的物镜时视野丹�/span>4mm��4mm，可�?/span>15�?/span>/秒的速度进行测量。因此，25px见方的试样几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时，同等范围的观察则需要几个小时～10小时。此外产�?*可将观察速度扩展臲�/span>1万帧/秒。由于摄影速度快，因此不需减震台，可用来检测流水线上的产品�

照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机，作为数字数据保存下来，由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件‛�/span>Koala Software”�

主要特点:

��非接触式3D成像

��可进行相位测野�/span>

��自动相干补偿

��高分辨、实时测�

技术规�

系统

��测量技术： 单波长透射式数字全息显微镜

��成像类型� 强度及定量相�(DHM模式)

��� 源： 单波长激先�/span>

��样品台： 手动或自�?span>XYZ平台�行程200mm����100mm��15mm

��� 机：1392��1040像素� 8bits

��有效物镜� 标准显微物镜�长工作距离物镛�/span>�油镜或水�

性能

��纵向分辨率：10nm

��垂直测量范围� 可达340nm (取决于样�?/span>)

��横向分辨率：300nm (1.4NA)

��视场范围�4.4mm

��工作距离�0.3~18mm

��数字聚焦范围� 达到50倍场淰�/span>

��抓图时间� 小于1us

��空间采样�1024��1024像素

��采样速率�15fps (1024��1024像素)

��单波长重建速率９�span>15fps (512��512像素)� 4fs(1024��1024像素)

��样品照明� 小于1uW/cm2

��**样品尺寸�200mm��200mm

电源要求

��输入电压�85-260VAC� 50/60Hz

��功率�480W

重量&尺寸

��显微镜部分：500��500��500mm&34.5kg