看了椭圆偏光膜厚测量仪(手动)的用户又看亅/p>
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产品特点9/span>
? 400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱、/span>
? 自动变更反射测量角度,可得到更详细的薄膜解析数据、/span>
? 采用正弦杆自动驱动方式,展现测量角度变更时优异的移动精度、/span>
? 搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能、/span>
? 可测量晶圆与金属表面的光学常?n:折射率、k:消光系数)、/span>
产品规格9/span>
样品对应尺寸 | 100100mm |
测量方式 | 偏光片元件回转方弎/span> |
入射/反射角度范围 | 45?0o |
入射/反射角度驱动方式 | 反射角度可自动变曳/span> |
波长测量范围 | 300?00nm |
分光元件 | Poly-chrometer |
尺寸 | 650(H(/span>400'/span>D(/span>560'/span>W(/span>mm |
重量 | ?0kg |
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