参考价栻/p>面议
型号
磁控溅射镀膜机品牌
艾科?/span>产地
湖南样本
暂无虚拟号将180秒后失效
使用微信扫码拨号
磁控溅射系统
设备特点9/span>
●具有多个溅射靶,可沉积单层、多层薄膜、合金薄膜和掺杂薄膜:/p>
●溅射方式:自下而上溅射、自上而下溅射可选;
●基片台可加热,可制备单晶薄膜;
●可选配辅助清洗离子源,有效提高薄膜的附着力;
技术指栆/span>
●靶材数量:2-4?/p>
●基片尺寸:2-8英寸
●基片台转速:5-30rpm,转速连续可谂/p>
In-line磁控溅射系统
设备特点
●卧室双腔结构,工件盘在上料室装片,在溅射室进行扫描运动溅射成膜:/p>
●上料室预抽真空,保证溅射室良好的真空环境,实现连续生产:/p>
●配置基片烘烤、清洗功能;
●用户具有多级操作权限,具备一键式全自动工艺运行,历史数据可查询、/p>
●靶材利用率髗/p>
技术指栆/span>
●基片尺寸:** 400mm × 400mm
●工件盘扫描速度?0mm/s 200mm/s ,连续可谂/p>
应用范围
在平面基片表面镀制各种金属、非金属、化合物等薄膜材料。如Al、Cu、Au、Pt、Ti、Ni、W、NiCr、TiW、SiO2、Al2O3、TiO2、ZnO、TaN、ITO等薄膜、/p>
暂无数据