功率（kw）：
-重量（kg）：
-规格外形（长*?高）９/p>-
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主要技术指?夹具压力:3kg-10kg可调;测高仪精?1u;.磨抛精度:6英寸晶圆磨抛后TTV?u;4英寸晶圆磨抛后TTV?μ、/p>
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