功率（kw）：
-重量（kg）：
-规格外形（长*?高）９/p>-
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重复定位精度±100nm
直线度、行走平面度±1um
高动态响应特?/p>
低静态抖?/p>
快速整宙/p>
支持非标定制
行程 |
300mm |
分辨玆/p> |
20nm |
**定位精度 |
±300nm |
重复定位精度 |
±100nm |
速度 |
1m/s |
加速度 |
1G |
位置稳定?/p> |
±20nm |
行走平面?/p> |
±1um |
直线?/p> |
±1um |
Pitch |
±2arcsec |
Yaw |
±2arcsec |
Roll |
±2arcsec |
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移动?/p>
工商已核宝/p>
