功率（kw）：
-重量（kg）：
-规格外形（长*?高）９/p>-
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技术指栆/strong> |
数据 |
有效行程 |
X轳300mm Y轳300mm |
**速度 |
X轳1000mm/s Y轳1000mm/s |
**加速度 |
X轳0.6G Y轳0.6G |
重复定位精度 |
X轳±0.5μm Y轳±1μm θ轴：±2arcsec |
直线?/p> |
X轳±4μm Y轳±4μm |
行走平面?/p> |
X轳±5μm Y轳±4μm |
XY正交?nbsp; |
±5μm |
**负载 |
10kg |
光栅尺分辨率 |
0.1μm |
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
