磨抛盘直径:
-主轴转速:
-单位能耗:
-装机功率(kw):
-成品细度9/p>-
工作原理9/p>其他
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TMP-150ATMP-200A
晶圆尺寸4/6英寸
抛光盘规格OD406 mm
晶圆气囊压力70-500 g/cm²
保持环压?0-700 g/cm²
暂无数据
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