金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>±1ℂ/span>
最高温度：
1400ℂ/span>额定温度９/p>?300ℂ/span>
非金属电热元件：
碳化硄/span>看了PECVD系统的用户又看了
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一、产品特艱/span>
1、开启式加热炈/span>
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配S型热电偶，单点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管
2、气路系统可精确控制4路气体按不同流量进行混合配比，另外单?路气体可精确控制进入蒸发器中作为载气参与反应。气路管路及阀门，精工件都采用316L材质、/span>
3、反应管组件
反应管组件使用耐高温刚玉管，石英管两端安装可旋转磁流体，采用步进电机驱动进行旋转、/span>
4、射频组仵/span>
大功率射频发生器，配合石英反应管可使整个实验腔体都处于辉光区域，反应均匀、/span>
5、蒸发系绞/span>
采用可控温油浴加热配合保温伴热的形式，确保蒸发源有足够的反应温度
6、真空系绞/span>
双真空泵联动结构，配合尾气中和罐，可对实验产生的尾气进行处理
7、智能控制系
采用智能PID模糊控制?0段可编程控制。具有超温和断偶报警功能、/span>
二、技术参?/strong>
**温度 |
1400ℂ/span> |
持续工作温度 |
?300ℂ/span> |
升温速率 |
?0?min |
控温精度 |
±1ℂ/span> |
加热元件 |
硅碳棑/span> |
热电偵/span> |
S垊/span> |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能、/span> |
加热总功玆/span> |
?0KW |
加热区尺寷/span> |
350+400+350mm |
真空?/span> |
?pa |
射频功率 |
1000W |
设备尺寸 |
3000*600*1500mm |
设备重量 |
?000KG |
暂无数据
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