非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>铁铬铝丝
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>±1ℂ/span>
最高温度：
1200ℂ/span>额定温度９/p>?100ℂ/span>
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一、设备组戏/strong>
这是一款组合管弎/span>CVD设备、/span>该设备主要由多路供气系统、三温区加热炉、低真空系统、以及智能控压组件组成、/span>
1、开启式加热炉：
三温区加热炉使用轻质氧化铝纤维材质，K型热电偶测温搭配优质电阻丝为加热原件，内部温场均匀、/span>
2、多路供气系绞/span>
质量流量计可按照程序设定，对多路气体进行单独或者混合。操作方便，控制精确、/span>
3、智能控压组仵/span>
通过真空计实时监测管内压力，PLC根据设定压力大小调节阀开启大小，以控制管内压力稳定、/span>
4、低真空系统
配备进口机械泵，进口真空计，质量可靠、/span>
二、技术参?/strong>
**温度 |
1200ℂ/span> |
持续工作温度 |
?100ℂ/span> |
升温速率 |
?0?min |
控温精度 |
±1ℂ/span> |
加热元件 |
电阻东/span> |
热电偵/span> |
K垊/span> |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
加热总功玆/span> |
?KW |
加热区尺寷/span> |
300+300+300mm |
设备主体尺寸（长*?高） |
2000*700*1300mm |
设备重量 |
?/span>150KG |
暂无数据
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