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E3200 GaN缺陷检测设夆/span>品牌
昂坤视觉产地
北京样本
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E3200是针对GaN 功率器件和HB GaN LED应用,可以检测GaN衬底及PSS基GaN、Si基GaN 和SiC基GaN 等外延片的表面和荧光缺陷?小检测颗?1nm。可以检测并区分颗粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、划伤(scratch)、污点(stain)、裂纹(crack)、PL 黑点、PL scratch、PL crystal 缺陷等表面及荧光缺陷。支?@?@?@晶圆检测,具有高产能、检测准确和检出率高的优点、/p>
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