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| 碳化硅缺陷检测仪 | |
| 型号 | NOVA-2000 |
| 晶圆 | SiC衬底，外延片 |
| 尺寸 | 4寸，6寸，8寷/td> |
| 检测效玆/td> | 10WPH(6? |
| 上下料方弎/td> | 全自动，2Loadport?Robot |
| 环境温度 | 20℃~25ℂ/td> |
| 环境湿度 | 40%~60% |
| 厂房洁净等级 | 百级及以上无尘车闳/td> |
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