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型号
图形晶圆缺陷检测设夆/span>品牌
知常光电产地
安徽样本
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图形晶圆缺陷检测设夆/td> | |
型号 | AMMI-2000 |
晶圆尺寸 | 200mm/300mm |
晶圆类型 | Semi Standards 、MEMS、Glass、Thin、Warped、Taiko、Frame |
检测方弎/td> | 2D测量 |
检测模弎/td> | ?暗场、偏光、微分干消/td> |
分辨玆/td> | 6μm - 0.5μm |
产率 | 100WPH@300mm, 6μm |
镜头 | 可选配1X, 2X, 5X, 10X, 20X, 50X等放大倍率 |
检测类垊/td> | 划伤、外来物污染、RDL缺陷筈/td> |
通讯 | SEMI standard, SECS/GEM |
自动匕/td> | EFEM ( 2 loadPort & Robot) |
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