参考价栻/p>面议
型号
全自动单工位晶圆减薄朹/span>品牌
产地
广东样本
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性能参数
| 参数名称 | 单位 | DL-GD3002A-X | |
| 晶圆尺寸 | in | 兼容Ø4''/Ø6''/Ø8''/Ø12'''span style="color: inherit; font-size: inherit; font-family: inherit;">Φ100mm~Φ300mm(/span> | |
| 研磨方式 | - | 晶圆旋转进给磨削 | |
| 砂轮直径 | mm | Ø250/Ø300金刚石砂?/span> | |
| 主轴 | 额定功率 | KW | 5.5/7.5/12.3 |
| 额定转逞/td> | RPM | 3000 | |
| 磨削精度 | 片间厚度变化 | um | ≤? |
| TTV | um | ? | |
| 表面粗糙度Ra | um | 0.15?2000(/td> | |
| 设备尺寸(W x D x H(/td> | mm | 1650x1945x2135 | |
| 设备重量 | KG | ?500 | |
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