一、主要用逓�/strong>

　　主要用于蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研�?抛光，尤其适用于超薄工件的加工、�/p>

　　二、产品特炸�/strong>

　　1、压力精密控制：PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;

　　2、上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方弎�

　　3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传�?

　　4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撐�

　　5、销齿传动：内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命，维护便捶�

　　6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反�?转速可任意设定，具有配方功能、�/p>

　　三、技术参�?/strong>

序号	项目			规格参数
1	下盘	尺寸		Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨)
				Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光)
		转逞�/td>		3-45 rpm
		驱动电机		7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm
2	上盘	尺寸		Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨)
				Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光)
		转逞�/td>		3-30 rpm
		驱动电机		4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm
3	游星�?/td>	参数		节距�?5.7 Z=64
		数量		6�?/td>
4	太阳�?/td>	转逞�/td>		0-20 rpm
		驱动电机		1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm
5	精度指标	上、下盘平面度		�?.015mm
		下盘端跳		�?.02mm
6	加工范围	**加工尺寸		Φ280mm
		*小加工厚�?/td>		0.15mm(�?"片）
		整盘承载野�/td>		18×6=108片（2" 圆片（�/td>
7	水源			纯水或自来水
8	电源	功率		14kW AC380V 50Hz
		线缆规格		三相五线刮．3×4mm²+2×2.5mm²
9	气源	压力		压缩空气�?.5-0.6Mpa
		接管口径		接口Φ10mm（外径）
10	外形尺寸			长×宽×高：1650mm×1300mm×2500mm
11	重量			�?000Kg

　　1、压力精密控制：PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;

　　2、上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方弎�

　　3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传�?

　　4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撐�

　　5、销齿传动：内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命，维护便捶�

　　6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反�?转速可任意设定，具有配方功能、�/p>

　　1、压力精密控制：PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;

　　2、上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方弎�

　　3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传�?

　　4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撐�

　　5、销齿传动：内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命，维护便捶�

　　6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反�?转速可任意设定，具有配方功能、�/p>