采用感应/电阻式加热方式，在不锈钢腔体内以液相法生长SiC晶体，并可兼容物理气相法(PVT)、�/p>

可提供半定制化服加�/p>

6 ~ 8英寸 碳化硅长晶炉 (感应�?电阻式）

晶体尺寸 6 ~ 8英寸

工艺 LPE

加热方式 感应�?电阻�?nbsp;

基本参数 主机尺寸 W1450 x D1450 x H3900mm

整机重量 �?.2T

支持系统 �?nbsp; � �?nbsp; � 50kVA（感应式�? 280kVA（电阻式�?nbsp;

�?nbsp; � 380VAC±10% , 3P, 50/60Hz

� � � �?nbsp; � 0.3 ~ 0.5MPa

�?nbsp; � �?00L/min

工艺气体 �?nbsp; � �?.2MPa

压缩空气 �?nbsp; � 0.5~1.0MPa