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简 1.结构紧凑，可采用并排布局，提高厂房利用率 2.可兼容电阻或感应加热热场 3.可配备多个加热器独立控制，工艺调试窗口大，便于同时控制轴向和径向温度梯度 4.底部水冷坩埚轴带有中空测温孔，顶、底、侧均可配红外测温，便于温场监控和工艺调试 5.可选恒功率、恒电流、恒温工作模式 6.满足6-8寸半绝缘/导电晶体生长需求?nbsp;
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