Fastmicro环境落尘颗粒实时监控� PFS

Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪，专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发，支持秒级间隔的数据采集，精准测量 0.5 um 以上颗粒。结合直观易用的软件系统，帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级，为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据、�/p>

产品特点９�/p>

• 数据输出及可视化：符� ISO 14644-17 标准

• 高通量检测：可检测低� 0.5 um 颗粒

• 快速：10 秒完� 2 英寸面积检浊�/p>

• 定量：适用于生产与研发环境的验证与监测

生产过程中的一致性测野�/span>

快逞�秒级连续监测

定量:适用于生产与研发环境的验证与监测

易操佛�操作员简单培训即可使�?/span>

精准:高分辨率测量（数量、时间线、位置、尺寸）

一致�?可重复的客观测量结果

高吞吐量:现场实时分析

监测颗粒沉积速率（DPRL（�/span>

Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪（PFS）采用紧凑的�?nbsp;业设计，依据 ISO 14644-9 � ISO 14644-17 标准，监测颗粒沉积速率（DPRL）。该设备使工�?质量工程师能够实�?nbsp;监控洁净室环境中关键区域的颗粒沉降情况、�/span>

在关键区域实现持续监浊�/span>

区别于传统的仅监测空气悬浮颗粒，该系统可以对关键�?nbsp;面的颗粒污染控制和洁净度验证进行持续监测�?nbsp;亚微米级颗粒并非始终悬浮于空气中，它们可能沉积于�?nbsp;键表面，影响技术洁净度与产品质量、�/span>

该仪器采� 2 英寸晶圆采集环境中的落尘颗粒，并可每� 10 秒左右对晶圆表面的颗粒进行连续粒子沉降监测�?nbsp;其检测粒径尺寸为 �?.5（通过 NIST 认证），并准确量�?nbsp;沉降速率�?nbsp;软件界面简单直观，可以一键生成报告、�/span>

Fastmicro PFS� � 一 一 � � � � � � 检 � � � � � 器，� � � � � �?nbsp;对洁净工艺控制挑战、�/span>

结合 Phenom XL 扫描电镜，可�?nbsp;便捷高效的进一步对颗粒物进行成分表征和溯源分析、�/span>