误差率:
-分辨率:
-重现性:
-分散方式9/p>-
测量时间9/p>-
测量范围9/p>-
虚拟号将180秒后失效
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Fastmicro环境落尘颗粒实时监控 PFS
Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪,专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发,支持秒级间隔的数据采集,精准测量 0.5 um 以上颗粒。结合直观易用的软件系统,帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级,为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据、/p>
产品特点9/p>
数据输出及可视化:符 ISO 14644-17 标准
高通量检测:可检测低 0.5 um 颗粒
快速:10 秒完 2 英寸面积检浊/p>
定量:适用于生产与研发环境的验证与监测
生产过程中的一致性测野/span>
快逞秒级连续监测
定量:适用于生产与研发环境的验证与监测
易操佛操作员简单培训即可使?/span>
精准:高分辨率测量(数量、时间线、位置、尺寸)
一致?可重复的客观测量结果
高吞吐量:现场实时分析
监测颗粒沉积速率(DPRL(/span>
Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪(PFS)采用紧凑的?nbsp;业设计,依据 ISO 14644-9 ISO 14644-17 标准,监测颗粒沉积速率(DPRL)。该设备使工?质量工程师能够实?nbsp;监控洁净室环境中关键区域的颗粒沉降情况、/span>
在关键区域实现持续监浊/span>
区别于传统的仅监测空气悬浮颗粒,该系统可以对关键?nbsp;面的颗粒污染控制和洁净度验证进行持续监测?nbsp;亚微米级颗粒并非始终悬浮于空气中,它们可能沉积于?nbsp;键表面,影响技术洁净度与产品质量、/span>
该仪器采 2 英寸晶圆采集环境中的落尘颗粒,并可每 10 秒左右对晶圆表面的颗粒进行连续粒子沉降监测?nbsp;其检测粒径尺寸为 ?.5(通过 NIST 认证),并准确量?nbsp;沉降速率?nbsp;软件界面简单直观,可以一键生成报告、/span>
Fastmicro PFS 一 一 检 器, ?nbsp;对洁净工艺控制挑战、/span>
结合 Phenom XL 扫描电镜,可?nbsp;便捷高效的进一步对颗粒物进行成分表征和溯源分析、/span>
暂无数据
固态电池(SSB)因其更高的能量密度、更长的使用寿命以及增强的安全性,已崭露头角,有望成为锂离子电池的继任者。尽 SSB 具有这些潜力,但它们并非没有挑战。一个主要问题是电池阴极内部的颗粒接触失效、/p>
锂电池失效分析随着新能源技术的飞速发展,锂电池已成为现代科技不可或缺的一部分,广泛应用于从便携式电子设备到电动汽车的各个领域。然而,锂电池的失效问题一直是行业关注的焦点。失效不仅影响设备的性能和使用寿
生物样品最佳观察时间往往稍纵即逝,而传统透射电镜(TEM)的漫长档期让关键研究被迫等待,亚纳米级分辨率虽强,却难解燃眉之急。Pharos STEM 台式场发射生物电镜——把实验室级分辨率,裄/p>
扫描电镜(SEM, Scanning Electron Microscope)作为半导体行业中不可或缺的高精度检测工具,凭借其纳米级分辨率和强大的表征能力,已广泛应用于芯片制造、材料开发、失效分析、工