参考价栻/p>面议
型号
POU系列纯化?/span>品牌
柯林?/span>产地
江苏样本
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典型应用
气体行业、半导体工艺设备,如 CVD,MOCVD, 硅外延,光纤,太 能光伏等
工艺介绍
主要针对N2、H2、Ar、He 等稀有气体中杂质02 H20、CO2, 常温下采用吸附剂的化学催化、物理吸附技术,对以上杂质深度脱除,节省空间,安装简捷,使用方便、/p>
纯化指标?/strong>
气体类别 | 可纯化气佒/p> | 去除杂质 | 纯化指标 |
D-惰性气佒/p> | N2、Ar、He、Ne、Kr | H₂O?₂、CO、CO₂、H₁/p> | <1ppb |
Y-氧气 | 0₁/p> | H₂O、CO₁/p> | |
Q-氢气 | H₁/p> | H₂O?₂、CO、CO₁/p> |
*表中只列出典型的和常见的气体,更多可纯化气体请与柯林斯联糺/p>
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