参考价栻/p>面议
型号
HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳纯化?/span>品牌
科立?/span>产地
辽宁样本
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系列 Series | 杂质 Impurity | 入口 Inlet(ppm(/span> | 出口 Outlet(ppb(/span> |
HON-CO2-S/W/VVV | O2 | ? | ? |
H2 | ? | ? | |
CO | ? | ? | |
CH4 | ?.5 | -- | |
H2O | ? | ? | |
挥发性酸VA | -- | ?.005 | |
挥发性碱VB | -- | ?.5 | |
耐熔化合物RC | -- | ?.005 | |
可冷凝有机物Corg | -- | ?.15 | |
不凝有机物Ncorg | -- | ? | |
Flow | 10?000Nm3/h |
工艺介绍9/strong>
?)使用特殊纯化材料,通过物理和化学吸附方式脱除O2、CO、H2O、H2、挥发性酸VA、挥发性碱VB、耐熔化合物RC、可冷凝有机物Corg、不凝有机物Ncorg等杂质、/p>
?)吸附反应器吸附饱和后可通氢加热再生,反复使用、/p>
?)多柱交替吸附、再生,可连续供气、/p>
应用领域9/strong>
纯化用于半导体应用的二氧化碳
气体行业
暂无数据