非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>氧气
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
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Bhadra™立式高温氧化炉HBO150
功能
1.高温氧化工艺
2.DCE清洗去除可动离子作用和中高温退火工艹/p>
技术参?/span>
适配晶圆尺寸??寷/span>
适用衬底材料:碳化硅
适用领域:功率半导体、衬底材料、科砓/span>
暂无数据
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