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PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设夆/span>品牌
盛吉盚/span>产地
浙江样本
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Auroflux 设备适用于Si/SiC/GaN基功率器?/8寸晶圆金属互联层薄膜淀积工艺。该机台为多腔室前后双平台结构实现晶圆安全准确传输,支持多工艺模块,能够进行全自动工艺处? 其中主要工艺为晶圆表面预清洗和金属薄膜沉?广泛应用于集成电路,化合物半导体,功率半导体以及MEMS等领域。当前主要薄膜沉积工艺如下:
AlCu/AlSiCu/Ti/TiN/Hot Al
Ni/Cr/Au/Ag/Ta/Cu/AlN/ALSCN
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